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Periodic Table | ALD Films

O:Oxide

N:Nitride

M:Metal

P:Phosphide/Asenide

S:Sulphide/Selenide/Telluride

C:Carbide

F:Fluoride

D:Dopant

O  Oxide of this element has been deposited by the ALD community

O  Recipe for this material is available from CNT staff or customer base

H

1

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                               

He

2

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Li

3

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Be

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                   

B

5

O
N
 
 
 
 
 
 
D

C

6

 
 
 
 
 
 
 
 
 

N

7

 
 
 
 
 
 
 
 
 

O

8

 
 
 
 
 
 
 
 
 

F

9

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ne

10

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Na

11

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Mg

12

O
 
 
 
 
 
 
F
 
                   

Al

13

O
N
M
P
 
 
 
 
D

Si

14

O
N
M
 
 
 
C
 
 

P

15

 
 
 
 
 
 
 
 
 

S

16

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cl

17

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ar

18

 
 
 
 
 
 
 
 
 

K

19

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ca

20

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Sc

21

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ti

22

O
N
M
 
 
S
 
 
 

V

23

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Cr

24

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Mn

25

O
N
M
 
 
S
 
 
D

Fe

26

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Co

27

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Ni

28

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Cu

29

O
N
M
 
 
S
 
 
D

Zn

30

O
 
 
 
 
S
 
F
D

Ga

31

O
N
 
P
 
 
 
 
D

Ge

32

O
 
M
 
 
 
 
 
 

As

33

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Se

34

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Br

35

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Kr

36

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rb

37

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sr

38

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Y

39

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Zr

40

O
N
 
 
 
 
 
 
 

Nb

41

O
N
 
 
 
 
 
 
 

Mo

42

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Tc

43

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ru

44

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Rh

45

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Pd

46

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Ag

47

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Cd

48

 
 
 
 
 
S
 
 
 

In

49

O
N
 
P
 
S
 
 
 

Sn

50

O
 
 
 
 
S
 
 
D

Sb

51

O
 
M
 
 
 
 
 
D

Te

52

 
 
 
 
 
 
 
 
 

I

53

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Xe

54

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cs

55

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ba

56

O
 
 
 
 
S
 
 
 

La

57

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Hf

72

O
N
 
 
 
S
 
F
 

Ta

73

O
N
M
 
 
 
C
 
 

W

74

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Re

75

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Os

76

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ir

77

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Pt

78

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Au

79

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Hg

80

 
 
 
 
 
S
 
 
 

TI

81

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pb

82

O
 
 
 
 
S
 
 
D

Bi

83

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Po

84

 
 
 
 
 
 
 
 
 

At

85

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rn

86

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Fr

87

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ra

88

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ac

89

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rf

104

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Db

105

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sg

106

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Bh

107

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Hs

108

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Mt

109

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                 
                                   
       

Ce

58

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Pr

59

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Nd

60

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pm

61

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sm

62

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Eu

63

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Gd

64

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Tb

65

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Dy

66

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ho

67

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Er

68

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Tm

69

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Yb

70

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Lu

71

O
 
 
 
 
 
 
 
 
       

Th

90

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pa

92

 
 
 
 
 
 
 
 
 

U

93

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Np

94

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pu

95

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Am

96

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cm

97

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Bk

98

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cf

100

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Es

101

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Fm

102

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Md

104

 
 
 
 
 
 
 
 
 

No

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Lr

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                                   

Acknowledgements

Gordon, Roy (2008). Atomic Layer Deposition (ALD): An Enable for Nanoscience and Nanotechnology. PowerPoint lecture presented at Harvard University, Cambridge, MA.

Elam, Jeffrey (2007). ALD Thin Film Materials. Argonne National Laboratory.
200 OK

OK

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Please contact the server administrator, [no address given] and inform them of the time the error occurred, and anything you might have done that may have caused the error.

More information about this error may be available in the server error log.

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  2. https://pintarbersamamanado.org
  3. https://pintarbersamasorong.org/dana
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  8. https://elk-mountain.com/